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当AI质检员上岗：半导体工厂的光刻缺陷检测实战与模型调优手记

记录一家国内头部晶圆厂将光刻后道缺陷检测漏检率从 0.5% 压低至 0.1% 以下的实操过程。涵盖小样本标注困境、基于边缘设备的模型轻量化部署，以及如何通过与工艺工程师建立反馈闭环，将 AI 从“实验室玩具”变为“生产线